應(yīng)我院邀請，上海交通大學(xué)楊卓青教授（博導(dǎo)）于12月11日上午9點在騰訊會議平臺上作了題為《非硅MEMS三維集成制造典型器件及應(yīng)用》的專題學(xué)術(shù)講座。電子與電氣工程學(xué)院負(fù)責(zé)人、師生代表100余人參加講座。講座由院長王長清主持。

楊卓青教授首先詳細(xì)介紹了一種基于非硅表面微加工技術(shù)的金屬基MEMS慣性開關(guān)器件，包括其具體的研發(fā)歷程和實際應(yīng)用情況。其次介紹一種可實現(xiàn)超細(xì)圓管/圓柱/毛細(xì)管等表面3D微加工的集成制造新技術(shù)；最后對該領(lǐng)域的研究熱點進行分析。該講解將為各類超細(xì)介入/植入式柔性生物醫(yī)用MEMS器件的集成制造開辟一種全新的技術(shù)途徑，提升了從事該研究領(lǐng)域的研究生的認(rèn)知，拓寬了以后研究的思維方式與方法。

講座結(jié)束后，與會老師和學(xué)生就講座內(nèi)容和研究熱點進行了提問。楊卓青教授對大家提出的問題均作了詳細(xì)解答，并鼓勵青年老師和研究生赴上海交大進行學(xué)術(shù)交流。

（文 徐世周）

專家簡介：

楊卓青，教授、博士生導(dǎo)師，上海交通大學(xué)“微米/納米加工技術(shù)國家級重點實驗室”研究員。于2003年和2005年在哈爾濱工程大學(xué)機電工程學(xué)院獲得學(xué)士與碩士學(xué)位，2010年獲得上海交通大學(xué)微電子學(xué)與固體電子學(xué)博士學(xué)位，2011-2013年期間，在日本國立產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所（AIST）任JSPS博士后特別研究員。目前任職于上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院微納電子學(xué)系，長期致力于MEMS慣性開關(guān)、柔性纖維/圓管/毛細(xì)管等表面的三維MEMS集成制造、PowerMEMS等相關(guān)研究，擁有20多項中國發(fā)明專利和1項日本專利，在IEEEJMEMS、IEEETED、Adv Mater、Adv Energy Mater、Nano Energy、Lab Chip等國際期刊上發(fā)表論文100多篇，并受邀擔(dān)任IEEE NEMS、IEEE INEC、APCOT、CSMNT等多個國際學(xué)術(shù)會議的TPC成員和分會主席，目前為Micro and Nanosystems、Nanomanufacturing、《功能材料與器件學(xué)報》等多個學(xué)術(shù)期刊編委。此外，曾獲得2016年“上海市技術(shù)發(fā)明一等獎”和2019年“工信部國防科技進步三等獎”，并于2014年入選“上海市浦江人才計劃”。目前為中國儀器儀表學(xué)會微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會理事、中國微米納米技術(shù)學(xué)會微納機器人分會理事、中國微米納米技術(shù)學(xué)會高級會員、中科院深圳先進技術(shù)研究院客座研究員，以及IEEE高級會員。